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喷雾涂敷设备(spray coater)
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喷雾涂敷机/镀膜机/涂膜机/涂层机

系统为薄膜研究实验室而设计,尤其是用于太阳能电池开发,适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中,在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。

难以手动控制的参数(如溶液的分配速度和喷头移动速度)由基于PC的自动化控制。根据需要,使用由步进电机和微处理器控制的容积泵来分配溶液。喷雾头的移动也由步进电机驱动的线性工作台在X和Y方向上控制.

特点:

-微粒喷雾,涂敷效果好

-从微量到精密喷雾

-使用大口径喷嘴,防止液体堵塞.

-低粘度液体,高粘度液体,固体物混合浆料等,均能颗粒化.

-喷嘴本身具有自吸力,对于低粘度的喷涂不需要真空泵,可直接涂敷.

-可混合异型液体喷雾

应用:

- 光阻涂敷

- 太阳能电池涂敷

- 燃料电池涂敷

- 诊断设备涂层

- 碳纳米管涂敷

- 石墨烯涂层

- 电感涂层

- 微蚀刻玻璃

- ........

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